Kioth M100　４種膜対応スパッタ装置

M100　４種膜対応スパッタ装置はトレイ水平搬送方式の4層の製膜が可能なスパッタ装置です。
LED等のメタル電極パッド用、積層膜の作成用として開発されました。
M100　４種膜対応スパッタ装置は、低ダメージ・緻密・密着性の良い高品位な積層膜を多目的な用途に向けて提供します。

特徴

ロードロック式によりクリーンで良質な製膜を得られます。
４種類膜のうち、３種類は完全独立したチャンバーにより製膜が可能であるため、コンタミ防止に最適な装置構成となります。
カソード４基の搭載により異種金属の成膜、低ダメージ、緻密、且つ密着性の良い高品質の成膜を提供します。
磁場最適化により、高いターゲット利用率示し、高価なターゲットは小型化されたカソードによりコスト低減に貢献します。

　

装置構成
レイアウトスペース	W3800　D5800　H2000mm
構成	・ロードロック式・トレイストッカにトレイを最大６枚収納
基板ホルダ	・キャリアサイズ：700x700mm ・トレーサイズ：500ｘ500ｍｍ
スパッタ方式	スパッタダウン方式による水平搬送
カソード	210ｘ640mm　２基 740x680mm　２基
スパッタ電源	DC電源（３０Kw、５Kw、２Kw）
排気系	主ポンプ：　　ターボ分子ポンプ　　クライオポンプ補助ポンプ　　ドライポンプ
操作系	・ＰＬＣによるオート動作/マニュアル動作・ロギング機能
チャンバー構成

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