日本真空機器はお客様のニ−ズに合った国内外の優れた真空製品をお求め易い価格で提供させて頂きます。
ＪＶＥは顧客のパートナーとして常に世界の国々からHighTechnologyの真空・分析製品などを販売しております。
特徴のあるユニークな製品を数多く取り揃えておりますのでお気軽にご相談下さい。


ＳＹＣＯＮ社 水晶式蒸着制御器

蒸着モニタから蒸着制御器・高機能蒸着制御器までお客様の用途に最適な製品をラインアップしています。
STM-100/MF
  • 蒸着ソースをコントロールする必要のない場合に最適な蒸着モニタです。
  • 蒸発源のシャッター開閉を操作できます。
  • 毎秒４回の計測周期
  • カタログ参照
STC-2000A
  • 一般的な蒸着制御を必要とする場合に最適な蒸着制御器です。
  • ハンドコントローラーが添付されます。
  • LCDタッチパネル上でプロセス設定ができます。
  • デュアル・センサーヘッドの使用ができます
  • ４つのファンクションスイッチに任意のI/O操作をすることが可能 。
  • カタログ参照
STC-2002
  • シングル・マルチレイヤに対応した、柔軟で用途の広い蒸着制御器です。
  • LCDディスプレィを通して蒸着シーケンスを作成できます。
  • センサーボードは最大４枚取りつけ可能です。
  • 各センサーボード単独のソースコントロール或いは、特定のセンサーボードへのソースコントロール出力ができます。
  • デュアルセンサーとオプションボードの併用で最大８個のクリスタルを使用できます。
  • ハンドコントローラーが添付されます。
  • デュアル・センサーヘッドの使用ができます。
  • ４つのファンクションスイッチやイベントで任意にI/Oを操作をすることが可能。
  • プログラムにより接点出力（８回路）、入力（８回路）の制御が可能です。
  • １０回（１秒）の計測周期で0.03Hzの分解能を持ちます。
STM-1
  • 筐体を含まない蒸着モニタです。専用筐体は別売です。
  • RS-232C/422を介してパソコンとの接続が可能です。
  • パソコン用ソフトが提供されます。（LabView使用）
  • カタログ参照
STM-2
  • USBからの電力で動作します。
  • オンボードオシレターが組み込まれています。
  • パソコン用ソフトが提供されます。（LabView使用）
  • １台のパソコンで４台のSTM-2をモニターできます。
  • カタログ参照

水晶振動子、検出器、他
水晶振動子
型式
  • 500-117　（クリスタルパック　１０枚入り）
    　６Ｍｈｚで動作　（金電極）
  • 白金電極の取り扱いもいたします。

検出器
フランジ口径 2-3/4"（φ７０CF） 1"BOLT(φ１")
型式 ・500-050 ( デュアル・シャッター付・ベーカブル )
・500-065 ( シングル・シャッター付・ベーカブル )
・501-009 ( シングル・ベーカブル )
・501-018 ( ライトアングル )
・501-032 ( ロー・プロファイル )		 ・501-015 ( ロー・プロファイル )
・501-016 ( ライトアングル )
ベーキング温度 200℃ ( ベーカブルタイプは275℃ ）
寸法 3"inch - 20"inch ( フランジシール面からセンサーヘッド中心まで）　注文時に長さの指定をして下さい。
水量 0.2-0.3 gal/min (0.7-1.3L/min) 　水温50°（最高温）
水冷パイプサイズ 1/8 inch OD, stainless tube
備考 ・検出器には水晶振動子が１枚付属します。
・ベーカブルタイプはベーキング時に必ず水抜きをしてください。
・各検出器には真空内部の配線は含まれません。
　500-024 ( 30インチ長ケーブル )、500-023 ( 10インチ長ケーブル )
・フィードスルーと各制御器までの間には以下の製品を使用します。
　OSC-100 ( オシレーター )
　500-025 ( 6インチ長BNCケーブル ) フィードスルーとオシレーター間に使用
　500-026 ( 10フィート長BNCケーブル )　または　500-027 ( 30フィート長BNCケーブル )
・検出器ヘッド単品、フィードスルー単品のご相談もお受けいたします。
仕様
  STM-100/MF STC-2000A STC-2002
ソースコントロール × ○ ○
周波数測定範囲( MHz )
測定周期		 5.0 〜 6.0
250ms		 5.0 〜 6.0
100ms		 5.0 〜 6.0
100ms
周波数分解能（ Hz ) 0.25 0.03 0.03
膜厚分解能（Å) 1 0.0133(Aluminum) 0.0133(Aluminum)
レート表示分解能（Å/S) 0.1 0.133 0.133
マルチポイント制御 - yes yes
同時蒸着 no no no
プロセスレシピ数 - 50 99
プロセスレイヤ数 - 99 / Process
( 250 total )		 99 / Process
( 250 total )
プログラム数 - 9 9
データロギング - yes yes
ルツボ数 - 64 64
デュアル 検出器 - 1 1
（オプションボードを併用して最大4本)
ソースコントロール - 2,5,10Ｖ (10mA) 2,5,10Ｖ (10mA)
I/O　入出力数 4 output (*1)
4 input (*2)		 4 output (*1)
4 input (*2)
共に4回路のプログラム制御が可能
 4 output (*1)
4 input (*2)
共に4回路のプログラム制御が可能(*3)
I/O　制御 - yes(*4)
100ステップ		 yes(*4)
100ステップ
レコーダー出力 +10V 0〜+10V (*5) 0〜+10V (*5)
通信ポート RS232/485 RS232/485 RS232/485
表示 LCD LCD（タッチパネル）
( 12 X 4 key matrix )		 LCD（タッチパネル）
( 12 X 4 key matrix )
寸法（H x W x D mm) 63.5 ｘ 185 ｘ 216 89 ( H )
ハーフラック		 89 ｘ 425 ｘ 203
フルラック
電源電圧 120/240　VAC
10VA		 90 〜 264VAC
1.4A （ 120V AC )		 90 〜 264VAC
1.4A （ 120V AC )
重量 (Kg) 1.9 1.9 3.0
添付品 ・電源ケーブル(1)
・ヒューズ (2)
・コネクタ類(3)
・ラックマウント(1)
・マニュアル(1)
・ソフトウェア・ツール・ディスク (1)		 ・電源ケーブル(1)
・ヒューズ (2)
・コネクタ類(7)
・ラックマウント(1)
・マニュアル(1)
・ハンドコントローラ (1)
・ソフトウェア・ツール・ディスク (1)		 ・電源ケーブル(1)
・ヒューズ (2)
・コネクタ類(7)
・ラックマウント(1)
・マニュアル(1)
・ハンドコントローラ (1)
・ソフトウェア・ツール・ディスク (1)
その他 (*1)：「crystal Fail」、「Source Shutter Relay」、「Xtal 2 Select」、「Ｔickness Setpoint」はプリセットされています。
(*2)：「START」、「STOP」、「Final Thickness Trigger」、「Zero」はプリセットされています。
(*3)：オプションボードを組み込むことにより、input・output共に12回路の入出力制御が可能になります。
(*4)：プログラミングにより制御が可能
(*5)：レコーダー出力以外に、ディスプレイに表示されている値、レート値、膜厚、電力のいずれかを選択

記細内容については性能向上のため予告無く変更することがありますのでご了承下さい。
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