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日本真空機器はお客様のニ−ズに合った国内外の優れた真空製品をお求め易い価格で提供いたします。 アルミ-ステンレスの爆着フランジや真空の各種フランジ、真空覗き窓、電流端子などを取り揃えています 真空ポンプや真空ポンプのメンテンスに必要なメンテナンスパーツを取り扱っています。 回転粘度計や膜厚計、真空計などの測定器をご紹介しています。 電子顕微鏡や精密機器など、床からの震動除去のご提案をいたします。 中古のスパッタ装置、ドライエッチング装置、中古装置の改造などを取り扱っています。 社内実践教育や自己研鑽ができる通信講座を開設しました。 webでのご注文をお受けしております 会社概要

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☆　EVAC社のチェーンクランプの取り扱いを始めました。コンポーネントのメニューからお進みください。　☆

スパッタ装置

　ＩＬＣ−７０３　インラインスパッタ装置

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　製造年月： 　１９８６年製
主排気系： 　クライオポンプ　（ＣＡＰ−１２０）
ＣＶＤ装置
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　ＰＥＤ−４０１　プラズマＣＶＤ装置

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　製造年月： 　１９７１年製
　主排気系： 　メカニカル・ブースターポンプ

エッチング装置
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　ＤＥＭ−４５１Ｈ　ドライエッチング装置

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　製造年月： 　１９７１年製
　エッチング電源： 　５００Ｋｗ　ＲＦ電源　１台
　主排気系： 　油拡散ポンプ
その他

　クライオ　コンプレッサー　CRC870MKII

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　積算時間： 　26846H
　
　 　

　クライオ　コンプレッサー　CRC870MKII

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　積算時間： 　36355H
　
　 　

　電離真空計　MIG-072

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　
　
　 　

　電離真空計　MI-10C

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　
　
　 　

　電離真空計　MI-10C

　製造元： 　ＡＮＥＬＶＡ
　
　
　 　

　RF電源　DRFS-10SB

　製造元： 　ダイヘン
　
　
　 　
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